彈性元件真空計是一種利用彈性元件（金屬彈簧或薄膜）在氣體壓力差作用下產生的彈性變形的原理來直接或間接地測定壓力的真空計。它可分為直接測量型（如彈簧管式、薄膜式、膜盒式真空計等）和間接測量型（如電容真空計、熱偶真空計）等。電容真空計精度高，可作標準真空計用。

圖8-13所示的為薄膜真空計，其測壓范圍為1×102~1×105Pa，用于低真空測量。在凍干中一般用于系統抽真空和作為增壓泵啟動信號的檢測控制元件，或在蒸氣滅菌中用來控制蒸氣壓力。