用環氧乙烷熏蒸時，應注意環氧乙烷有毒，且容易燃燒爆炸，必須使之與不燃氣體混合使用，一般可用氮氣、二氧化碳或氟利昂12混合，使環氧乙烷的質量分數為10%左右。熏蒸時先將裝置抽到極限真空，將混合氣體引人，使壓力達到2×104Pa，送入水蒸氣加濕到接近8×10Pa，維持4~8h，抽出氣體使壓力降至7X103

Pa，放人無菌空氣到9.70×10Pa，再抽空到極限真空。抽出的氣體必須排到室外。熏蒸完后打開箱門，通無菌空氣約4h。其系統如圖7-5所示。環氧乙烷滅菌比較便宜，所需溫度低，能耗較少，主要缺點是有毒，易燃燒爆炸，在不帶熱濕蒸氣滅菌的凍干機中使用。