蒸氣流泵蒸氣流泵是一種用蒸氣流體作為抽氣介質(zhì)來獲得真空的裝置。它包括蒸氣噴射泵、蒸氣增壓泵和蒸氣擴(kuò)散泵等。其抽氣機(jī)理都是基于高速運(yùn)動的蒸氣流與被抽氣體混合進(jìn)行能量交換而實(shí)現(xiàn)抽氣的。

在蒸氣流泵內(nèi)，蒸氣由噴嘴噴射出來后的流動狀態(tài)，可以是湍流的，也可以是粘滯流（層流）的，它取決于蒸氣流的壓力和流過噴嘴的蒸氣流量。

如果噴射出的流體為湍流，依靠蒸氣流表面大量的旋渦與被抽氣體相互摻和而卷帶氣體（還有微弱的粘滯力攜帶氣體和擴(kuò)散攜帶氣體的作用），使被抽氣體分子在射流的方向上獲得了由蒸氣分子給予的沖量，根據(jù)這種機(jī)理設(shè)計的泵稱為蒸氣流噴射泵。單級蒸氣流噴射泵的工作壓力在1×10·Pa以上，隨著級數(shù)的不同，其工作壓力范圍為105~10-2Pa。

如果由噴嘴噴射出來的工作流體為粘滯流，依靠工作流體的邊界層和被抽氣體層之間的粘性摩擦而攜帶氣體（還有一定的擴(kuò)散攜帶氣體作用），則根據(jù)此原理制成的泵稱為蒸氣流增壓泵。這類泵的工作壓力范圍為10~10~2Pa。當(dāng)被抽氣體的壓強(qiáng)很低時，由噴嘴噴射出的工作流體的密度進(jìn)一步降低（速度較大），被抽氣體分子擴(kuò)散進(jìn)入蒸氣中而被抽走，

由此而設(shè)計的泵稱為擴(kuò)散泵，其工作范圍由10-2~10-6Pa。

圖4-7所示為油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)示意圖。泵油在真空中加熱至沸騰（約200℃）時，將會產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)各級噴嘴噴出，形成一高速定向密集的穩(wěn)定蒸氣流。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口上方被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng)，這樣，在分子流狀態(tài)下，被抽氣體分子將源源不斷地擴(kuò)散到蒸氣流中，與具有較高能量的超音速的蒸氣流分子相碰撞并進(jìn)行能量交換，驅(qū)使被抽氣體分子沿蒸氣流方向高速運(yùn)動，經(jīng)過逐級壓縮排至前級泵的入口，再由前級泵排至大氣。