(1)大型微電子工業(yè)潔凈室的實(shí)例   

        1）用離心風(fēng)機(jī)的集中循環(huán)方式(設(shè)顯熱盤(pán)管)，主循環(huán)用AHU設(shè)在地面機(jī)房?jī)?nèi)，回風(fēng)與新風(fēng)(來(lái)自FAAHU )混合后，進(jìn)入送風(fēng)靜壓箱。

        2）分散布置中型AHU方式(設(shè)顯熱盤(pán)管)，三層結(jié)構(gòu)，潔凈室頂部為主循環(huán)用中型AHU機(jī)房，新風(fēng)AHU出風(fēng)送入該機(jī)房，與回風(fēng)相混合。廠房占地面積少，但廠房高度高，頂部設(shè)AHU有水患。

        3）風(fēng)機(jī)一過(guò)濾器單元+顯熱盤(pán)管，頂部用FFU回風(fēng)，靜壓室內(nèi)設(shè)SHCC,新風(fēng)經(jīng)FAAHU送入送風(fēng)靜壓室。

        4）標(biāo)準(zhǔn)廠房改建潔凈室，采用FFU，送風(fēng)與回風(fēng)靜壓層均在0. 75m。回風(fēng)經(jīng)玻璃直通道進(jìn)入靜壓箱。SHCC水平安裝在通道頂部。新風(fēng)經(jīng)FAAHU送入送風(fēng)靜壓層，高度小，經(jīng)濟(jì)。

    所有方案中對(duì)新風(fēng)處理都十分重視，圖44-28為新風(fēng)處理流程實(shí)例。

    (2)制藥廠的潔凈室系統(tǒng)例制藥廠生產(chǎn)工藝中，關(guān)鍵性的潔凈生產(chǎn)部分空間有限，大多在IS07級(jí)(或更低)的潔凈室中，用層流罩構(gòu)成封閉的高潔凈度環(huán)境(見(jiàn)圖44-29)。此外，在回風(fēng)口設(shè)有空氣過(guò)濾器，對(duì)粉劑進(jìn)行過(guò)濾后，空氣進(jìn)入空氣處理箱。以避免車(chē)間之間交叉污染，在送風(fēng)管路上。可設(shè)定風(fēng)量裝置，以維持恒定的送風(fēng)量。對(duì)于車(chē)間內(nèi)產(chǎn)塵(藥粉)的操作點(diǎn)，可設(shè)置如圖44-30a所示的局部自循環(huán)吸塵機(jī)系統(tǒng)，以及圖44-30b所示的集中式吸塵系統(tǒng)。通過(guò)過(guò)濾器，使?jié)崈羰铱諝夥祷剀?chē)間。