濕度傳感器的特性參數(shù)主要有:濕度量程、靈敏度、溫度系數(shù)、響應(yīng)時(shí)間、濕滯回差、感濕特征量一一相對(duì)濕度特性曲線等。一個(gè)濕度敏感器件,不僅在吸濕和脫濕兩種情況下的響應(yīng)時(shí)間有所不同,而且其感濕特性曲線也不重復(fù)。在吸濕和脫濕情況下,兩個(gè)感濕特性曲線一般均可形成一回線。濕度敏感器件的這一特性稱為濕滯特性,而將此回線稱為濕滯回線.圖3- 5中給出了Mn₃O₄ -TiO₂濕度敏感器件在80℃時(shí)的濕滯回線。

表示器件濕滯特性的特性參數(shù)是濕滯回差。濕滯回差表示器件在吸濕和脫濕兩種情況下,其感濕特征量的同一數(shù)值所指示的環(huán)境相對(duì)濕度的最大差值。顯然,器件的濕滯回差越小越好。

上面介紹了表示濕度敏感器件性能的幾種特性參數(shù)。除此之外,對(duì)于二個(gè)濕度敏感器件,還應(yīng)標(biāo)明其使用條件、可靠性指標(biāo),以及其他參數(shù)(如加熱清洗參數(shù))等。

綜上所述 ,可以得知一個(gè)理想化的濕度敏感器件所應(yīng)具備的性能和參數(shù)：①使用壽命長 ,長期穩(wěn)定性好;②靈敏度高 ,感濕特性曲線的線性度好; ③使用范圍寬,濕度溫度系數(shù)小;④響應(yīng)時(shí)間短;⑤濕滯回差小;⑥能在有害氣體的惡劣環(huán)境中使用;⑦器件的一致性和互換性好,易于批量生產(chǎn),成本低;⑧器件感濕特征量應(yīng)在易測(cè)范圍以內(nèi)。